射頻電源是可以產(chǎn)生固定頻率的正弦波電壓，頻率在射頻范圍（約3KHz～300GHz）內(nèi)、具有一定功率的電源。已廣泛應用于半導體工藝設備；LED與太陽能光伏產(chǎn)業(yè)；科學實驗中的等離子體發(fā)生；射頻感應加熱；醫(yī)療美容；常壓等離子體**清洗等。
射頻又稱無線電頻率、無線射頻、高周波，為在3 kHz至300 GHz這個范圍內(nèi)的震蕩頻率，這個頻率相當于無線電波的頻率，以及攜帶著無線電信號的交流電的頻率。RF通常被用來指電子震蕩，而不被用在機械震蕩上，然而機械射頻系統(tǒng)仍然是存在的（如機械過濾器與射頻微機電系統(tǒng)）。
雖然射頻在定義上是用來指一種頻率，但在日常使用中，常被用來當成無線電的同義詞，以利描述無線通訊系統(tǒng)，如射頻識別。
在國際電信聯(lián)盟定義的無線電頻率劃分當中：
甚低頻（VLF）：3~30千赫（KHz）
低頻（LF）：30~300千赫（KHz）
中頻（MF）：300~3000千赫（KHz）
高頻（HF）：3~30兆赫（MHz）
甚高頻（VHF）：30~300兆赫（MHz）
特高頻（UHF）：300~3000兆赫（MHz）
超高頻（SHF）：3~30吉赫（GHz）
極高頻（EHF）：30~300吉赫（GHz）
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